Гост р исо 14644-9 скачать

У нас вы можете скачать гост р исо 14644-9 скачать в fb2, txt, PDF, EPUB, doc, rtf, jar, djvu, lrf!

Таким образом, для оценки доверительного интервала в отношении распределения вероятностей отдельных измерений должны применяться соответствующие статистические методы. Техническая возможность провести измерения зависит от возможности доступа измеряющего устройства к образцу. Проведение измерений через отверстия или капиллярные трубки. Возможность различать осевшие на поверхность частицы и дефекты самой поверхности прямой метод , а также возможность отделения частиц, осевших на поверхности, при применении косвенных методов оказывают влияние на классификацию.

В зависимости от геометрических размеров контролируемой поверхности должны применяться различные методы. В большинстве случаев статистика по числу отбираемых образцов и анализ результатов измерений должны быть разработаны индивидуально. Для обеспечения статистической значимости следует выполнять несколько измерений. Следует принять меры по обеспечению повторяемости измерений. В некоторых случаях, когда количественные данные не могут быть установлены, возможно получение качественных результатов.

Качественные результаты не могут быть использованы для классификации чистоты поверхности по концентрации частиц, приведенной в разделе 5. Количественным критерием оценки и классификации чистоты поверхности является число всех частиц нежелательного материала, находящихся на данной поверхности.

Должна быть обеспечена возможность определения размеров и количества частиц по отношению к площади загрязненной поверхности. Некоторые из наиболее важных требований приведены ниже: Методы контроля, приведенные в D.

Все существующие методы определения чистоты поверхности по наличию частиц могут быть разделены на две группы: В первую очередь следует отдавать предпочтение прямым методам, которые не требуют отбора проб. Как правило, эти методы требуют меньшего количества действий при измерениях, что приводит к меньшему количеству ошибок, чем косвенные методы.

Это позволяет получить легко воспроизводимые результаты. Однако, в зависимости от различных факторов и условий производства сложность формы элемента, шероховатая поверхность , косвенные методы часто являются единственно возможным вариантом для определения чистоты поверхности по наличию частиц. Поверхностные элементы и частицы, присутствующие на ней, не должны быть изменены или повреждены в результате проведения контроля. Если испытуемую поверхность необходимо транспортировать к измерительному устройству, транспортировку обработку, упаковку следует проводить таким образом, чтобы избежать дополнительного загрязнения поверхности.

Перечень методов представлен в таблице D. Таблица также содержит требования, которые должны быть выполнены, и существующие ограничения для каждого метода. Опре- деле- ние кон- цент- рации. Неза- виси- мость от типа поверх- ности. Ско- рость про- веде- ния испы- тания. Оптический микроскоп с обработкой изображения. Системы косого, отраженного, бокового освещения с обработкой изображения.

Примечание - В настоящей таблице используются следующие обозначения: Частицы, которые имеют не идеально круглую форму, следует измерять по их большей оси. Эффективность оптических методов в обнаружении частиц на поверхности может быть повышена за счет дополнительного использования специальных источников света, которые реагируют на особые свойства материала например, реакция материала на ультрафиолетовое и инфракрасное излучение.

Так, например, при использовании ультрафиолетовой лампы частицы, реагирующие на ультрафиолетовое излучение, обнаруживаются гораздо лучше. В данном случае следует провести предварительную подготовку образцов до проведения испытания. Эффективность измерений снижается, если не все осевшие на поверхности частицы могут быть отделены с контролируемой поверхности при применении косвенных методов. Поэтому предпочтительными являются прямые методы. Следует соблюдать осторожность в случае, если для удаления частиц с поверхности применяются агрессивные методы, так как данные методы могут разрушать поверхность и образовывать дополнительные частицы.

При использовании косвенных методов должно быть известно фоновое загрязнение частицами промежуточной среды например, промывочной среды. Чем меньше размер частиц, тем труднее отделить их от поверхности, при этом возрастают поверхностные силы притяжения электростатические, когезия, адгезия, капиллярные.

Для удаления частиц с исследуемой поверхности могут применяться следующие методы: Частицы, содержащиеся в промывочной среде, исследуют с помощью соответствующих измерительных приборов например, оптических счетчиков частиц для газов либо осаждают на материале фильтра импактора , затем проводят анализ. При использовании любого метода отбора проб следует позаботиться, чтобы не происходило дальнейшего загрязнения образцов в результате их взаимодействия с приборами, промывочной средой или персоналом, так как это может повлиять на результаты контроля.

Кроме того, выбранный метод отбора проб должен гарантировать полное удаление всех частиц с испытуемой поверхности. Промывка оборудования при отборе проб должна обеспечивать полный перенос частиц с поверхности оборудования в промывочную среду или на поверхность переноса. Для оптимизации метода отбора проб могут быть отобраны чистые пробы то есть пробы с чистой поверхности или пробы с поверхности, загрязненной в установленном порядке. Низкая скорость отбора проб оптических счетчиков не позволяет исследовать большие объемы промывочной среды.

Поэтому из всего объема промывочной среды следует отобрать представительную пробу. Следует соблюдать осторожность при измерении крупных частиц размером 3 мкм, чтобы избежать их разделения или осаждения, так как это может привести к неточным результатам измерений. Оборудование, применяемое при отборе проб, и соединительные трубки должны быть чистыми во время проведения испытания промывочной средой.

Для определения числа частиц необходимо добиться их осаждения на специальной поверхности, которую исследуют с помощью измерительных приборов.

Для сбора частиц могут быть использованы: Промывочная среда проходит через фильтрующую мембрану с определенными размерами пор. Затем фильтр с задержанными частицами высушивают и исследуют путем взвешивания гравиметрически D.

Частицы осаждаются из газообразной промывочной среды на импакторную пластину, которые затем исследуют под микроскопом. Все инструменты и этапы подготовки, связанные с процессом сбора частиц, требуют высокого уровня чистоты. Уровень их чистоты следует установить путем отбора чистых проб. Оцен- ка пре- делов мето- да изме- рений.

Фильтрация промывочной среды или применение импактора с последующим анализом под микроскопом 0,5 мкм. Исследование промывочной среды с помощью оптических счетчиков частиц заключается в смыве частиц с поверхности и пропускание их через оптический счетчик 0,05 мкм. Исследование газообразной среды с помощью оптических счетчиков частиц заключается в сдувании частиц с поверхности и пропускании через оптический счетчик 0,05 мкм.

Фильтрация промывочной среды с последующим гравиметрическим анализом 0,1 мкм. Примечания 1 В настоящей таблице используются следующие обозначения: Размер частиц не является решающим фактором. Исходные значения, определенные эмпирически: Гравиметрический анализ не подходит для классификации чистоты поверхности в зависимости от размеров частиц, так как он не может дать оценку отдельным частицам. Гравиметрический анализ применяют для определения общей массы загрязнений, удаленных с исследуемой поверхности.

Цифры в скобках указывают пределы обнаружения измерительных приборов. Общая зависимость размера удаляемых частиц и эффективности их удаления при использовании косвенных методов измерений следующая: Однако эффективность удаления частиц с поверхности зависит не только от размеров частиц, но также связана со следующими параметрами: Из-за разницы в методах, используемых для преодоления сил, возникающих между частицами и поверхностями, и взаимодействия различных факторов эффективность отделения частиц для каждого метода значительно отличается.

Таким образом, при использовании косвенных методов невозможно получить дискретные значения эффективности. Для получения дополнительной информации при использовании косвенных методов могут быть использованы такие аналитические методы, как рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия ESCA , энергодисперсионная рентгеновская спектроскопия EDX , рамановская спектроскопия, а также УФ- и ИК-спектроскопия.

Так как на результаты измерений в целом влияют различные параметры например, особенности поверхности, выбранный метод измерения, чистота среды , число точек отбора проб и число повторений измерений должны быть согласованы между заказчиком и исполнителем измерений.

Минимальная толщина стенки мешка должна составлять 80 мкм, чтобы избежать разрывов. Внутренний мешок может быть проклеен или спаян, наружный мешок должен быть спаян. Внутренний мешок не следует удалять до внесения в контролируемую зону испытаний. Все операции с внутренним мешком следует проводить в полном комплекте одежды для чистых помещений, включая капюшон и маску. При исследовании образцов следует использовать только новую пару вымытых нитриловых или латексных перчаток для чистых помещений.

Невооруженным глазом с помощью простых вспомогательных средств например, увеличительное стекло с масштабной сеткой, контрастное освещение могут быть обнаружены частицы с размерами больше 25 мкм. Сложные объекты могут быть осмотрены быстро и качественно. Однако данный метод не позволяет получить количественные данные о размерах частиц и их распределении.

Все загрязнения характеризуются в соответствии с их структурой и оптическими характеристиками поглощающая способность, преломление света, двойное преломление или путем определения термической стойкости например, размягчения или плавления с помощью микроскопа с подогреваемой поверхностью для образцов. Частицы размером 1,0 мкм и более могут быть обнаружены на поверхности твердых и в объеме жидких образцов например, при отборе проб по ASTM F с использованием методов анализа по ASTM F В случаях, когда частицы недостаточно контрастны на фоне поверхности, визуальный осмотр можно улучшить с помощью темнопольного освещения.

Этот метод позволяет получить качественные результаты. При использовании автоматического отбора проб и анализа полученных изображений могут быть исследованы поверхности образцов или материалов. При косых лучах света, то есть направлении света параллельно поверхности, освещение поверхности минимально, малое количество света отражается от поверхности и попадает на камеру.

В результате чистая поверхность выглядит темной. Однако если на поверхности присутствуют частицы, они попадают под косые лучи освещения и отражают определенное количество рассеянного света.

На картинке, полученной камерой, частицы представляются яркими точками на темном фоне, соответственно, форма точек может быть проанализирована с помощью простых алгоритмов анализа изображений. Благодаря своей небольшой резкости при высокой степени увеличения, возможности исследования неровных поверхностей с помощью SEM превосходят пределы обнаружения систем оптической микроскопии.

Тем не менее с помощью SEM сложно изучать непроводящие поверхности, потому что в процессе бомбардировки пучком электронов на исследуемой поверхности аккумулируется заряд, в результате чего изображение искажается. Для предотвращения появления заряда на непроводящую поверхность предварительно следует нанести с помощью распыления тонкий обычно металлический слой для того, чтобы исследуемая поверхность стала проводящей. Однако в данной ситуации существуют риск того, что этот процесс может привести к изменению поверхностных условий.

Кроме того, частицы могут заряжаться под воздействием электронного луча, что может привести к их отрыву от поверхности. Поскольку при использовании SEM метода исследуемая поверхность или образец должен быть помещен в среду с высоким разряжением, следует позаботиться о том, чтобы образцы не были повреждены или изменены в результате воздействия вакуума.

В случаях использования SEM в сочетании с устройствами анализа изображений исследуемая поверхность может быть исследована автоматически. При использовании EDX метода в сочетании с калибрующими устройствами могут быть получены как количественные, так и качественные данные. Если в среде присутствуют частицы, при прохождении через лазерный луч они отражают свет, который регистрируется фотодетекторами и анализируется. Интенсивность отраженного света позволяет судить о размерах частиц, которые вызвали световой импульс.

Выводы о размерах частиц могут быть сделаны на основе калибровочной кривой, полученной при использовании круглых латексных частиц. Тем не менее полученный диаметр соответствует отраженному световому импульсу, а не фактическому диаметру частиц.

Результат измерения позволяет определить распределение частиц по размерам в пределах определенного диапазона. Для измерений, проведенных в воздухе и других газах, применяются различные датчики, способные измерять частицы размерами от 0,05 мкм до мкм 2,5 мм.

Диапазон измерений датчика зависит от конструкции его оптического элемента. Более мелкие частицы могут регистрироваться с помощью счетчика ядер конденсации CNC. Перед измерением частицы увеличиваются за счет конденсации на них жидкости. С помощью счетчика ядер конденсации могут быть обнаружены частицы размером до 0, мкм. Однако вследствие конденсации жидкости данным методом невозможно получить распределение частиц.

Предел обнаружения частиц в жидкости при использовании счетчика ядер конденсации составляет 0,05 мкм. Использование оптических счетчиков частиц ОРС позволяет проводить дискретные измерения частиц. Метод на основе затухания света применим при работе с частицами размерами 1 мкм и больше.

В данном методе детектор направлен прямо на источник света и измеряет размеры "теней" частиц в тот момент, когда они пересекают луч. Сфокусированный лазер сканирует поверхность с помощью луча под определенным углом. Основная идея заключается в том, чтобы мотивировать государственных исполнителей для того, чтобы в очередной раз победить коррупцию.

Создание и продвижение сайта: Классификация чистоты поверхностей по концентрации частиц Дата актуализации: В описании В номере документа В названии документа В тексте документа. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Классификация чистоты поверхностей по концентрации частиц. Cleanrooms and associated controlled environments. Рекомендации по методам контроля даны в приложениях А - D. Настоящий стандарт применим ко всем типам твердых поверхностей чистых помещений и связанных с ними контролируемых сред, включая стены, потолки, лолы.

Классификация чистоты поверхностей по концентрации частиц SCP ограничена размерами частиц от 0. Термины и определения ISO В настоящем стандарте применены термины и определения, приведенные в ИСО Примечание - Дескриптор также может быть использован для частиц, диапазоны размеров которых имеют особое значение, или часпщ. Оценка загрязнений без каких-либо промежуточных этапов.

Примечание - Частицы удерживаются на поверхности благодаря химическим иГили физическим взаимодействиям. Характеристика поверхности no концентрации частиц на ней. Количество частиц на единице площади поверхности. N - классификационное число SCP. Концентрация c SCPj0 по уравнению 1 является основой классификации. Значения, представленные в таблице 1.

Значения, приведенные е скобках, не следует использовать для классификации. В данном случае следует выбирать другой размер частиц с соответствующей ему концентрацией.

Минимальная площадь при проведении испытаний должна быть статистически представительной для всей рассматриваемой поверхности. При определении класса SCP следует использовать сплошные линии на графике. Пунктирные линии не используют. Класс чистоты поверхности по концентрации частиц класс SCP следует обозначать следующим образом: Обозначение класса SCP для чистых помещений и связанных с ними контролируемых сред должно также включать следующее:.

Протокол испытаний должен включать подробное описание методов контроля, в том числе методику отбора проб и характеристику контрольно-измерительных приборов. Размеры контролируемых частиц должны быть согласованы заказчиком и поставщиком. Для этих размеров частиц следует указать класс SCP. Концентрации частиц в воздухе и на поверхности обычно связаны между собой. Соответствие исследуемой поверхности требованиям класса SCP. Порядок подтверждения соответствия 6.

Контроль чистоты должен проводиться в контролируемой среде с использованием соответствующих методик и. Могут применяться как прямые, так и косвенные методы, приведенные в приложении О. Список описанных методов не является исчерпывающим. Примечание - При использовании различных методов полученные результаты могут отличаться, несмотря на их корректное применение. Методика контроля и среда, в которой он проводится, должны быть согласованы заказчиком и поставщиком.

В зоне контроля должны быть принять меры по снижению электростатического заряда, так как он увеличивает осаждение частиц на испытуемую поверхность. Результаты контроля для каждой поверхности должны быть оформлены документально и содержать подтверждение соответствия или несоответствия требуемому классу SCP. Поверхность обычно характеризуется шероховатостью, пористостью, механическими твердость , а также физико-химическими свойствами поверхностный электростатический заряд, поверхностное натяжение.

Шероховатость влияет на многие физические свойства поверхности и ее сложно описать только одним параметром. Шероховатость рассматривают в двух основных плоскостях: Шероховатость поверхности может быть определена механическими или оптическими методами.

Наиболее часто используемым механическим методом для определения шероховатости является применение прибора со щупом ИСО или ИСО Существует несколько методов контроля, позволяющих оценить пористость вещества или смеси веществ матрицы материалов.

Вначале определяется объем и масса материала. Метод насыщения водой несколько сложнее, но он обладает большей точностью. Берется заранее известный объем материала и известный объем воды.

Иначе это можно записать следующим образом: При использовании метода определения пористости продавливанием ртути необходимо поместить образец материала в специальное устройство для введения жидкой ртути. Чем больше приложенное давление, тем меньше размер пор. Как правило, этот метод применяется для пор с размерами от 0, мкм до мкм. Азотная адсорбция также применяется в качестве метода определения тонкой пористости материала.

Существует множество национальных и международных стандартов по определению твердости различных материалов.