Гост р исо 14644-5-2007

У нас вы можете скачать гост р исо 14644-5-2007 в fb2, txt, PDF, EPUB, doc, rtf, jar, djvu, lrf!

Цель данного испытания — подтвердить, что направление потока, картина распределения потоков или и то и другое соответствуют проекту или соответствующей спецификации. При необходимости пространственные характеристики воздушного потока могут быть также подтверждены. Цель данных испытаний — показать способность системы вентиляции и кондиционирования поддерживать в зоне испытаний уровень температуры и влажности выраженной относительной влажностью или точкой росы в заданных пределах в течение периода времени, установленного заказчиком.

Целью испытаний является определение уровней статического напряжения на различных предметах. Исследование генерации ионов выполняется для оценки способности ионизаторов снижать статическое напряжение на поверхностях.

Методика испытаний приведена в В. Целью испытания являются оценка количества числа или массы частиц или влияния по рассеянию света или покрытию поверхности частиц, осевших на поверхность. Некоторые из методик испытания приведены в В. Это испытание проводится для определения способности чистого помещения восстанавливать заданный класс чистоты в течение определенного времени после кратковременного внесения источника загрязнений.

При использовании в процессе испытаний искусственных аэрозолей не следует допускать остаточных загрязнений чистых помещений. Это испытание выполняется для обнаружения возможности проникания загрязненного воздуха в чистые помещения из окружающих зон через соединения, элементы герметизации или двери. Результат каждого испытания должен быть занесен е протокол испытаний, который должен содержать следующую информацию:.

Приведенные в настоящем стандарте методы испытаний могут использоваться для проверки соответствия параметров чистого помещения установленным требованиям, а также для проведения периодического контроля. Выбор методов испытаний зависит от конструкции чистого помещения, его состояния и вида аттестации.

Последовательность проведения испытаний должна быть заблаговременно согласована между заказчиком и исполнителем, и должна позволять уменьшить ненужную работу в случае несоответствия критериев заданным требованиям. Последовательность проведения испытаний должна быть согласована между заказчиком и исполнителем. Рассматриваемый метод предназначен для определения концентрации аэрозольных частиц с пороговыми значениями размеров от 0,1 до 5 мкм.

Концентрация частиц может определяться в любом из трех состояний чистого помещения: Определение концентрации частиц выполняется при определении или подтверждении класса чистоты чистого помещения или чистой зоны в соответствии с ИСО или при проведении периодических испытаний в соответствии с ИСО Настоящая методика, приведенная в В.

Определение числа точек отбора проб, расположение этих точек, определение класса чистых зон и необходимое количество данных проводят в соответствии с ИСО Пробоотборное отверстие дискретного счетчика частиц далее — счетчика помещают а место отбора пробы.

В зонах с однонаправленным потоком применяется изокинегический пробоотборник 1]. Для отбора проб, содержащих частицы с размерами равными или превышающими 1,0 мкм. Дискретный счетчик частиц см. При проведении классификации или аттестации чистого помещения чистой зоны в дополнение к пунктам протокола испытаний, указанным в разделе 5.

Рассматриваемый метод предназначен для определения концентрации аэрозольных частиц с пороговым размером не более 0. Для обозначения такой концентрации частиц испогъзуют U-дескриптор. Оборудование, применяемое для определения U-дескригпора. Границы диапазона на рисунке В. Если кривея зависимости эффективности счета от размера частицы для дискретного счетчика частиц или счетчика ядер конденсации проходит справа от штрихованной области на графике на рисунке В.

Для достижения желаемой эффективности счета. Устройство, ограничивающие пропускание мелких частиц, удаляет частицы с размерами менее установленных.

Допускается применение других устройств, ограничивающих пропускание мелких частиц, если их характеристики не ниже требуемых характеристик по пропусканию. Необходимо внимательно следить за тем. Устанавливается пробоотборник дискретного счетчика частиц или счетчика ядер конденсации с устройством. В каждой точке отбора проб производится отбор воздуха требуемого объема и выполняется счет частиц в соответствии с ИСО приложение В или ИСО Отбор пробы при низкой скорости потока воздуха при отборе или длинной трубке пробоотборника может привести к значительным потерям ультрамелких часгиц из-за диффузии.

Для счета ультрамелких частиц применяют дискретные счетчики частиц с характеристиками, описанными в С. Эффективность счета частиц предельного размера для дискретных счетчиков часгиц или счетчиков ядер конденсации должна быть определена в соответствии с графиком на рисунке В.

При определении U-дескрипгора в чистом помещении, по соглашению между заказчиком и исполнителем, в протокол, как это указано в разделе 5 настоящего стандарта, должны быть внесены следующие данные:. Рассматриваемый метод предназначен для определения концентрации аэрозольных частиц с пороговым размером более 5 мкм макрочастиц.

Определение концентрации частиц может проводиться в чистом помещении или чистой зоне 8 любом из трех состоянии чистого помещения или чистой зоны. Работа с макрочастицами требует внимательного отбора пробы и обращения с ней. Требования, предъявляемые к системам, которые могут быть использованы для изокинетического и анизокинегического отбора проб и доставки частиц до места их регистрации, приведены в [1] и 13]. Существует две основные группы методов измерения макрочастиц.

Нельзя сравнивать данные, полученные при использовании разных методов измерения. Поэтому поиск корреляции между данными, полученными разными методами, может оказаться невозможным. Выбирается мембранный фильтр с держателем или предварительно собранным устройством для обнаружения аэрозоля.

При этом размеры пор используемого фильтра не должны превышать 2 мкм. На держателе делается отметка, позволяющая идентифицировать место отбора пробы и чистое помещение. К выходному отверстию присоединяют вакуумный насос, который будет обеспечивать движение воздуха с требуемой скоростью. Входное отверстие держателя фильтра или устройства для обнаружения аэрозоля должны быть направлены вертикально вверх.

Для систем, имеющих уровень чистоты, не менее 6 класса включительно и выше см. Удаляют крышку с держателя мембранного фильтра или устройства для обнаружения аэрозоля и кладут ее в чистое место.

Проводят отбор воздуха в точках отбора проб, согласованных между заказчиком и исполнителем. После завершения отбора проб держатель фильтра или регистратор аэрозоля закрывают. В каскадном импакторе воздушный поток проходит через систему жиклеров с отверстиями уменьшающихся размеров. Для накопления макрочастиц используются два типа каскадных импакторое.

Импэкгор работает не менее 10 мин. Концентрацию макрочастиц рассчитывают следующим образом: Поскольку датчик микровесов может показывать изменение массы каждой пластины, то обычно нет необходимости определять их массу перед началом отбора пробы. Так же как и в других каскадных импэхторах.

Концентрация макрочастиц рассчитываются следующим образом: Счет макрочастиц может быть выполнен без их накопления. Этот процесс включает в себя оптические измерения аэрозольных частиц. Методика измерения макрочастиц с помощью дискретного счетчика частиц является такой же.

Отличие заключается в том. Необходимо следить за тем. В зонах с неодноналрав-ленным потоком входное отверстие пробоотборника дискретного счетчика частиц должно быть направлено вертикально вверх. Диаметр входного отверстия пробоотборника не должен быть не менее 30 мм. Настройка диапазона измеряемых размеров дискретного счетчика частиц производится таким образом, чтобы регистрировались только макрочастицы. Размеры макрочастиц могут быть определены с помощью приборов, в основу работы которых положен принцип измерения времени пролета частиц.

Проба воздуха подается в прибор, и разгонятся за счет ее пропускания через сопло е камеру с частичным вакуумом, где расположен измерительный блок. Значение ускорения частиц обратно. Соотношение скоростей воздуха и частицы а точке измерения может быть использовано для определения аэродинамического диаметра частицы.

Зная значение разности давлений воздуха снаружи и в измерительной камере, можно точно рассчитать скорость воздуха. Скорость частиц определяется по времени пролета между двумя лазерными лучами. Процедура получения пробы га же самая, что и для измерений макрочастиц с помощью дискретных счетчиков частиц. Устанавливают пробоотборник выбранного прибора. Целью данного испытания является измерение скорости и однородности воздушного потока, а также расхода приточного воздуха в чистом помещении.

Выбор метода определяется соглашением между заказчиком и исполнителем. Данное испытание может проводиться в каждом из трех состояний чистого помещения. Скорость однонаправленного потока обуславливает эксплутационные характеристики чистого помещения с однонаправленным потоком.

Скорость может быть измерена вблизи выходной поверхности финишных фильтров или внутри помещения. Скорость воздушного потока следует измерять на расстоянии от до мм от поверхности фильтра. Число точек измерения должно быть достаточным для определения расхода приточного воздуха 8 чистом помещении.

Для каждой из точек измерений записываются усредненные по времени значения скорости. Время измерений в каждой точке измерений должно быть достаточным для обеспечения воспроизводимых результатов. Однородность скорости следует измерять на расстоянии от до мм от поверхности фильтра. Деление плоскости измерений сеткой на секторы следует осуществлять по соглашению между заказчиком и исполнителем. Если в чистом помещении установлено производственное оборудование, то важно подтвердить наличие значительных изменений воздушного потока вследствие этого.

Полученные данные могут не отражать характеристик самого чистого помещения. Данные, использующиеся для определения однородности скорости распределения скорости , должны быть согласованы заказчиком и исполнителем.

Результаты измерений скорости воздушного потока, проведенных согласно В. Полюй расход приточного воздуха О рассчитывается по формуле.

А с — площадь сектора, которая вычисляется следующим образом: Расход приточного воздуха в воздуховодах может быть измерен с помощью расходомеров объема, таких как диафрагменный расходомер, расходомер Вентури или анемометры см. Если измерения в прямоугольном воздуховоде проводятся с использованием трубки Пито и манометров или анемометров термоанемометров или крыльчагых.

Число прямоугольных секторов должно быть согласовано между захаэчиком и исполнителем и может быть равно, например. Расход воздуха может быть рассчитан так же. Измерения в круглых воздуховодах проводят по методике определения расхода воздуха с помощью трубок Пито, приведенная в ЕН [10].

Расход приточного воздуха и кратность воздухообмена являются наиболее важными параметрами. В некоторых случаях для определения объема приточного воздуха необходимо проводить измерения скорости приточного воздуха через каждый отдельный диффузор [15].

При подаче воздуха через воздухораспределитель возникают струйное течение и локатъная турбулентность. Раствор раструба должен полностью накрывать фильтр или диффузор, плотно соприкасаясь с плоской поверхностью для избежания утечек воздуха и погрешности измерений. При отсутствии раструба оценку расхода приточного воздуха можно осуществлять, проведя измерения с помощью анемометра после каждого финишного фильтра. Расход приточного воздуха равен произведению скорости воздушного потока на площадь выходного сечения.

Описание и спецификации оборудования приведены в С. Для измерения воздушных потоков используются ультразвуковой анемометр, тврмоанемометр. Для измерения расхода приточного воздуха могут использоваться диафрагменный расходомер, расходомер Вентури, трубки Пито и усредняющие трубки Пито с манометрами или аналогичное оборудование.

С другой стороны, крыльчатый анемометр может использоваться, если он имеет достаточную чувствительность и размеры, достаточные для усреднения скорости воздуха по всему диапазону вариаций. В дополнение к пунктам протокола испытаний, указанным в разделе 5. Цель данного испытания — убедиться в способности системы чистых помещений поддерживать требуемую разность давлений между системой чистых помещений и окружающей средой, а также между отдельными помещениями системы чистых помещений.

Если система чистых помещений состоит из более чем одного помещения, то должен быть измерен перепад давления между центральным наиболее внутренним помещением и примыкающими к нему помещениями. Измерения следует проводить до тех пор. В связи с тем. Необходимо принять во внимание следующее:. Описание оборудования приведено в С. Для проведения испытаний могут применяться электронный микроманометр, наклонный манометр или механический датчик перепада давления.

В дополнение к пунктам протокола испытаний, указанным 8 разделе 5. Испытание с использованием аэрозоля может привести к неприемлемому уровню загрязнений частицами или молекулярному загрязнению внутри чистого помещения. Применение некоторых контрольных аэрозолей может при определенных условиях быть опасным для здоровья. Настоящий стандарт не рассматривает вопросы безопасности применения приведенных методов испытаний.

Соответствие требованиям безопасности должно быть проверено до начала практического использования настоящего стандарта. Испытание целостности усгановлемюй системы фильтрацт не следует путать с определением эффективности отдельных фильтров на ээводе-иэготовитепе.

Испытания могут быть проведены с использованием фотометра аэрозолей см. Метод дискретного счетчика частиц см. Он может применяться для испытаний:. Подготовительные этапы описаны в В. В воздух, идущий к фильтру и содержащий естественные аэрозоли, следует добавить полидисперсные аэрозоли для достижения требуемой концентрации частиц на входе фильтров.

Средний эквивалентный диаметр частиц при этом должен быть 8 пределах от 0. При первом испытании системы фильтров следует обратить внимание на однородность распределения частиц контрольных аэрозолей в пригонном воздухе. При более высоких концентрациях чувствительность метода повышается. Подробные детали того, как обеспечить перемешивание контрольного-аэрозоля согласовывается заказчиком и исполнителем.

Размеры входного отверстия пробоотборника зависят от скорости отбора пробы фотометра и скорости воздуха на выходе фильтра.

Пробоотборник должен иметь квадратную или прямоугольную форму. Размер стороны пробоотборника D fi , см. IYp — размер стороны поперечного сечения пробоотборника, перпендикулярной к направлению сханирова-.

Метод состоит е подаче контрольных аэрозолей на вход фильтров и в помехе утечек путем сканирования поверхности фильтра со стороны выхода воздуха, а также элементов крепления, при этом:.

Если при сканировании обнаруживается любой признак недопустимой утечки В. Примечание — Для фильтров с разными коэффициентами проскока и для фотометров с разными временами отклика могут устанавливаться разные результаты испытаний для допустимой утечки, см.

В этом случае переходят ко второму этапу. Методы расчета С а и Г приведены в В. Если при неподвижном состоянии счетчика число обнаруженных частиц за время Т, превысит допустимое значение С л , то в данном месте есть утечка. В воздух, идущий к фильтрам, следует добавить искусственно полученные контрольные аэрозоли, чтобы достичь требуемой концентрации частиц на входе фильтров.

Концентрация контрольных аэрозолей до фильтров должна быть достаточно высокой, чтобы обеспечить приемлемую скорость сканирования см. В большинстве случаев следует искусственно подавать контрольные аэрозоли на вход фильтров, чтобы достичь необходимой концентрации частиц.

Работоспособность разбавителя должна проверяться в начале и в конце цикла его использования Если концентрация частиц на входа фильтров изменяется с течением времени в значительных пределах, то ее следует контролировать 8 ходе сканирования фильтров, чтобы иметь данные для последующих вычислений. Методика приведена в В. Если в течение короткого времени менее 7 S регистрируется две и более частицы, то следует выполнить стационарный контроль при неподвижном пробоотбортке в месте предполагаемой угечхи.

Если число частиц не увеличивается, то принимается, что утечки нет. Если обнаруженное число частиц менее С, в течение времени Т г то принимается, что утечки нет. Если число частиц более С 0 в течение времени Т г то принимается, что утечка есть. P f — максимально допустимое интегральное значение коэффициента проскока для наиболее проникающих частиц точка MPPS испытуемого фильтра:. D fi —размер стороны пробоотборника в направлении, параллельном направлению сканирования, см; N p — ожидаемое число счета частиц, которое характеризует стандартную утечку частицы ;.

Пробоотборник находится напротив места утечки. P L выбирается по соглашению между заказчиком и исполнителем или рассчитывается с помощью таблицы В. P t определяется как максимально допустимое значение коэффициента проскока в точке MRRS для контролируемого фильтра согласно данным производителя. В некоторых местах локальное значение коэффициента проскока может быть более интегрального значения. С а может быть заменено на N 0.

Рекомендуется, чтобы величина N p была не менее 2. Для обеспечения сравнения результатов испытания для метода с использованием фотометров см. При статических вычислениях одна обнаруженная частица С а дает верхний доверительный предел N p. Некоторые значения С л и N p приведены е таблице В. S, и С а должны быть выбраны предварительно, а концентрация аэрозоля до фильтра С с рассчитывается по формуле В. Если число обнаруженных частиц превышает С а.

Время должно быть не менее времени пересечения места утечки пробоотборником см. При ручном сканировании утечка может быть обнаружена визуально на дисплее счетчика частиц или за счет звукового сигнала счетчика.

Интервал времени для отбора проб должен быть достаточным, чтобы исключить влияние эффекта сброса числа частиц между интервалами. Если чтсло обнаруженных частиц не более С а в течение времени Т г то утечки нет.

В этом случае следует повторить стационарный отбор пробы. Если число обнаруженных частиц по-прежнему будет превышать С 0. При нестандартных скоростях отбора пробы следует использовать уравнения:. Если в течение короткого времени менее 0,4 с число частиц увеличилось на две или более частицы, то следует выполнить стационарное испытание в месте предполагаемой утечки. Если число обнаруженных частиц превышает С а в течение времени Т г то принимается, что утечка есть.

Этот метод может использоваться для контроля целостности фильтров, установленных в воздуховоды. Его можно использовать и для контроля финишных фильтров, установленных в чистых помещениях с неодноналравленкым потоком воздуха. Далее следует проверить концентрацию аэрозоля и ее однородность до фигътра фотометром см. Концентрация частиц в воздухе после фильтра определятся не менее чем в одной точке для каждого фильтра, причем однородное смешивание потока должно произойти до этой точхи.

Если это условие не выполняется. Для подтверждения стабильности работы генератора аэрозолей следует повторно, через определенные интервалы времени определить концентрации частиц до фильтров см. По данным о концентрации частиц вычисляются интегральные значения коэффициента проскока частиц заданного размера для каждой точки, расположенной после фильтра.

При испогъзовании счетчика частиц эти фактические значения коэффициента проскока не должны превышать заданных значений коэффициента проскока для фильтра в точке MPPS более чем в пять раз. Ремонт фильтров или устранение утечек выполняются в соответствии с В. Примечание — В случаях, когда требуется контроль целостности фигътрое, установленных в воздуховодах. Устранение утечек допускается только по соглашению между заказчиком и исполнителем.

При выборе способа ремонта следует учесть все указания заказчика и изготовителя фильтров. При выборе материала для ремонта следует учесть возможное выделение загрязнений, в том числе молекулярных. Дефекты, обнаруженные в фильтрах, местах их герметизации или элементах крепления должны быть устранены. После проведения ремонта и достаточной выдержки времени следует выполнить повторное сканирование.

Целью проверки направления потока воздуха и визуализации потока является подтверждение того, что направление и однородность потока соответствует установленным требованиям, и если нужно пространственным и температурным характеристикам. Нити или частицы перемещаются по направлению потоков воздуха, и полученная картина снимается фотоаппаратом или кинокамерой. Нити и частицы не должны быть причиной загрязнений.

Для получения частиц могут использоваться генератор аэрозолей, источник света высокой интенсивности. Метод с используется для демонстрации распределения скоростей потока воздуха в частом помещении и основан на визуализации потока воздуха частицами при помощи моделирования с использованием компьютера.

При проведении испытаний следует принять меры предосторожности, чтобы исключить влияние персонала на потоки воздуха. Примечание — Следует учесть, что на потоки воздуха могут влиять такие параметры, как перепад давления, скорость движения воздуха и температура.

Метод состоит в наблюдении за нитями шелковыми нитями, отдельными нейлоновыми волокнами, флажками или тонкими лентами , которые крепятся к штырькам или точкам пересечения проволочной сетки, находящимся в потоке воздуха. Это дает видимую картину направления потока воздуха и их изменения из-за турбулентности. Целесообразно использовать эффективную подсветку и видеозапись или фотографию полученной картины потоков воздуха. Метод состоит в наблюдении за поведением частиц, которые вводятся в поток воздуха.

Применение источников света с высокой интенсивностью светового потока позволяет определить направление и однородность потока воздуха. Трассирующие частицы могут быть получены из распыляемой деионизованной воды, спирта и пр. Источник частиц должен быть выбран так. При выборе метода распыления следует учесть требования к размеру частиц капель. Видеозапись картины визуализации потоков воздуха В. При этом используются цифровые камеры, передающими изображение на компьютеры с необходимыми интерфейсами и программным обеспечением.

Для достижения большей пространственной разрешающей способности могут использоваться лазерные источники света и пр. Распределение скоростей потоков воздуха может быть построено по нескольким точкам, в которых скорость определяется термоанемометром.

По соглашению между заказчиком и исполнителем и е соответствии с разделом 5 настоящего стандарта в протоколе испытаний указывают следующее:. Измерение температуры выполняется с целью проверки способности системы вентиляции и кондиционирования воздуха поддерживать значения температуры в определенной зоне в заданных пределах в течение времени, согласованного заказчиком и исполнителем.

Второй вид контроля выполняется в чистых помещениях с повышенными требованиями к точности поддержания температурного режима. Этот вид контроля выполняется после завершения контроля потоков воздуха, балансирования системы вентиляции и кондиционирования и стабилизации параметров ее функционирования.

Измерение температуры следует вьполнять. Измерения выполняются на высоте рабочего места. Порядок проведения измерений определяется с учетом назначения чистого помещения.

Время измерений должно быть не менее 5 минут с записью значений через 1 мин. Этот вид измерений выполняется при необходимости соблюдения повышенных требований к точности поддерживания температурного режима. Контроль еыпотяется после работы системы вентиляции и кондиционирования, по крайней мере, в течение 1 ч. Рабочую зону следует разделить на секторы равной площади. Датчик температуры должен располагаться на высоте рабочего места на расстоянии не менее мм от потолка, стен и пола чистого помещения.

Время измерений должно быть не менее 5 мин. Точность датчтка температуры должна соответствовать требованиям ИСО Для измерений могут использоваться:. По соглашению между заказчиком и исполнителем и в соответствии с разделом 5 настоящего стандарта в протоколе испытаний указывают следующее:. Контроль влажности выполняется с целью проверки способности системы вентиляции и кондиционирования воздуха поддерживать значения влажности воздуха выраженной в виде относительной влажности или точке росы в заданных пределах в течение времени, согласованного заказчиком и исполнителем в пределах определенной зоны.

Этот вид испытаний выполняется после завершения испытаний потоков воздуха, балансирования системы вентиляции и кондиционирования и стабилизации параметров ев функционирования. Измерение влажности следует выполнять, как минимум, в одной точке в каждой зоне с заданными требованиями к влажности. Измерения следует проводить, как минимум, в течение 5 мин.

Периодичность измерений и время их выполнения согласовываются заказчиком и исполнителем. Точки измерения влажности и периодичность измврвютй должна быть согласована между заказчиком и исполнителем. Точность датчика влажности должна соответствовать требованиям ИСО При измерении статического электричества определяется уровень статического напряжения на различных поверхностях работе места, продукт и пр.

Способность сохранять и рассеивать статическое электричество оценивается по поверхностному сопротивлению и сопротивлению утечки поверхностей. Результат каждого измерения показывает эффективность устранения или нейтрализации статического заряда и дисбаланса между положительными и отрицательными генерированными ионами. Присутствие положительных или отрицательных электрических зарядов на поверхностях измеряется электростатическим вольтметром или измерителем поля.

Если не согласован другой метод, то следует применять стандартный метод, приведенный в настоящем приложении. Примечание - Более подробные данные об испытаниях, проводимых в чистых помещениях с использованием дискретных счетчиков частиц, информация о стандартах, касающихся дискретных счетчиков частиц, а также стандартные методы испытаний приведены в [2], [3], [4], [11], [23], [24].

В зонах с однонаправленным потоком применяется изокинетический пробоотборник [1]. Если это невозможно, то входное отверстие пробоотборника следует направить навстречу преобладающему направлению потока воздуха. В точках, где скорость потока воздуха не контролируется или не предсказуема например, в случае неоднонаправленного потока , входное отверстие пробоотборника следует направить вертикально вверх.

Соединительная трубка, соединяющая пробоотборник и измерительный узел счетчика, должна быть как можно короче. Для отбора проб, содержащих частицы с размерами равными или превышающими 1,0 мкм, длина и диаметр соединительной трубки не должны превышать значений, рекомендуемых изготовителем. Счетчик частиц должен показывать на экране или регистрировать результаты счета частиц, размеры которых соответствуют установленному диапазону, а также иметь действующий сертификат калибровки, как это указано в С.

Для обозначения такой концентрации частиц используют U-дескриптор. Определение концентрации частиц может проводиться в чистом помещении или чистой зоне в любом из трех его состояний. Определение концентрации ультрамелких частиц в чистых помещениях или чистых зонах выполняется в соответствии с ИСО приложение Е или при проведении периодического контроля в соответствии с ИСО Оборудование, применяемое для определения U-дескриптора, должно иметь эффективность счета в пределах закрашенной темной области графика, приведенного на рисунке B.

Границы диапазона на рисунке B. Если кривая зависимости эффективности счета от размера частицы для дискретного счетчика частиц или счетчика ядер конденсации проходит справа от штрихованной области на графике на рисунке B.

Если кривая проходит слева от заштрихованной области, то эффективность счета может быть уменьшена путем модификации счетчиков, заключающейся в применении специального устройства, ограничивающего пропускание мелких частиц, как это описано в В. В этом случае значение эффективности счета модифицированных счетчиков будет равно произведению величины эффективности счета немодифицированных счетчиков и коэффициента относительного пропускания применяемого устройства.

Кривая эффективности счета для счетчиков, оснащенных пробоотборником с устройством, ограничивающим пропускание мелких частиц, изменится таким образом, что будет проходить, как это и требуется, через заштрихованную область на графике см.

Устройство, ограничивающие пропускание мелких частиц, удаляет частицы с размерами менее установленных, уменьшая их пропускание определенным и воспроизводимым образом.

Допускается применение других устройств, ограничивающих пропускание мелких частиц, если их характеристики не ниже требуемых характеристик по пропусканию. В качестве примера применяемых устройств, ограничивающих пропускание мелких частиц, можно назвать секции диффузионных батарей и виртуальные импакторы. Пропускание зависит от физических свойств частиц, конструкции устройства, ограничивающего пропускание мелких частиц, и скорости потока воздуха. Необходимо внимательно следить за тем, чтобы устройство, ограничивающее пропускание мелких частиц, применялось при таких скоростях воздушного потока, для которых оно было рассчитано, и было установлено таким образом, чтобы избежать накопления электростатического заряда.

Накопление электростатического заряда можно свести к минимуму путем надежного заземления устройства, ограничивающего пропускание мелких частиц. Устанавливается пробоотборник дискретного счетчика частиц или счетчика ядер конденсации с устройством, ограничивающим пропускание мелких частиц, если это необходимо.

В каждой точке отбора проб производится отбор воздуха требуемого объема и выполняется счет частиц в соответствии с ИСО приложение В или ИСО Отбор пробы при низкой скорости потока воздуха при отборе или длинной трубке пробоотборника может привести к значительным потерям ультрамелких частиц из-за диффузии. Вычисляется величина U-дескриптора для заданного диапазона размеров ультрамелких частиц, согласованного заказчиком и исполнителем, и вносятся данные в протокол.

Если необходимо получить информацию о стабильности концентрации ультрамелких частиц, то выполняется не менее трех измерений в таких точках и с такими интервалами времени, которые согласованы заказчиком и исполнителем. Эффективность счета частиц предельного размера для дискретных счетчиков частиц или счетчиков ядер конденсации должна быть определена в соответствии с графиком на рисунке B.

Если счетчик способен обнаруживать частицы с размерами менее установленных, то следует использовать устройство, ограничивающее пропускание мелких частиц, с характеристиками пропускания согласно В. Определение концентрации частиц может проводиться в чистом помещении или чистой зоне в любом из трех состояний чистого помещения или чистой зоны.

Определение концентрации макрочастиц в чистых помещениях чистых зонах выполняется в соответствии с ИСО приложением Е или при проведении периодического контроля в соответствии с ИСО Особое внимание должно быть уделено получению и обращению с пробой, чтобы свести к минимуму потери макрочастиц во время таких операций.

Требования, предъявляемые к системам, которые могут быть использованы для изокинетического и анизокинетического отбора проб и доставки частиц до места их регистрации, приведены в [1] и [13].

Нельзя сравнивать данные, полученные при использовании разных методов измерения. Поэтому поиск корреляции между данными, полученными разными методами, может оказаться невозможным.

Информация о размерах частиц может быть получена с помощью следующих методов: При этом размеры пор используемого фильтра не должны превышать 2 мкм.

На держателе делается отметка, позволяющая идентифицировать место отбора пробы и чистое помещение. К выходному отверстию присоединяют вакуумный насос, который будет обеспечивать движение воздуха с требуемой скоростью.

Если точка отбора проб, где необходимо определить концентрацию макрочастиц, находится в однонаправленном потоке, то скорость потока воздуха должна быть отрегулирована таким образом, чтобы обеспечить изокинетический отбор проб через входное отверстие держателя фильтра или устройством для обнаружения аэрозоля, при этом входное отверстие должно быть повернуто навстречу однонаправленному потоку.

Входное отверстие держателя фильтра или устройства для обнаружения аэрозоля должны быть направлены вертикально вверх. Для систем, имеющих уровень чистоты, не менее 6 класса включительно и выше см. ИСО , объем пробы воздуха должен быть не менее чем 0,28 м. Для систем, имеющих уровень чистоты не более 6-го класса, объем пробы воздуха должен быть не менее чем 0, м. Удаляют крышку с держателя мембранного фильтра или устройства для обнаружения аэрозоля и кладут ее в чистое место.

Проводят отбор воздуха в точках отбора проб, согласованных между заказчиком и исполнителем. Если для обеспечения движения воздуха через фильтр используется переносной вакуумный насос, то воздух, выходящий из насоса, должен быть выведен за пределы чистого помещения или проходить через соответствующий фильтр.

После завершения отбора проб держатель фильтра или регистратор аэрозоля закрывают. Образец с пробой следует перевозить таким образом, чтобы он все время между измерением и анализом находился в горизонтальном положении, и не подвергался вибрации или толчкам. Подсчитывают частицы на поверхности фильтра [4]. Самые большие частицы оседают непосредственно перед самыми большими отверстиями, более маленькие частицы оседают на каждой последующей ступени импактора.

Для накопления макрочастиц используются два типа каскадных импакторов. В первом частицы оседают на съемных пластинах, которые вынимаются для проведения последующего взвешивания или исследования под микроскопом. В другом типе импакторов частицы оседают на пьезоэлектрическом кварцевом датчике микровесов, который определяет массу частиц, собранных каждой ступенью импактора.

В импакторе этого типа обычно используются потоки со значительно меньшим расходом воздуха. Импактор работает не менее 10 мин. После чего он плотно закрывается и направляется для взвешивания или проведения измерений под микроскопом. Накопительные пластины удаляются, и записывается масса или число частиц, собранных на каждой из пластин. Концентрацию макрочастиц рассчитывают следующим образом: Поскольку датчик микровесов может показывать изменение массы каждой пластины, то обычно нет необходимости определять их массу перед началом отбора пробы.

Так же как и в других каскадных импакторах, пластины можно вынимать для проведения измерений отдельных частиц с помощью оптического микроскопа или состава частиц с помощью электронного микроскопа.

Импактор размещается в предварительно выбранной точке отбора проб и включается. После окончания отбора пробы импактор может быть перемещен в другую точку, где могут быть проведены следующие измерения. Концентрация макрочастиц рассчитывается следующим образом: Этот процесс включает в себя оптические измерения аэрозольных частиц. Во время отбора пробы воздух с определенной скоростью движется через дискретный счетчик частиц, который определяет либо эквивалентный оптический диаметр, либо аэродинамический диаметр частиц.

Отличие заключается в том, что от дискретного счетчика частиц в данном случае не требуется чувствительность для определения частиц, с размером не более 1 мкм, так как ему нужно измерять только макрочастицы.

Необходимо следить за тем, чтобы дискретный счетчик частиц проводил забор воздуха прямо из точки отбора проб. Для дискретного счетчика частиц нельзя использовать трубки для отбора проб длиной более 1 м. В зонах с неоднонаправленным потоком входное отверстие пробоотборника дискретного счетчика частиц должно быть направлено вертикально вверх. Диаметр входного отверстия пробоотборника не должен быть не менее 30 мм.

Настройка диапазона измеряемых размеров дискретного счетчика частиц производится таким образом, чтобы регистрировались только макрочастицы. Необходимо провести счет числа частиц одного из размеров, не превышающего 5 мкм, [см. ИСО , таблица 1 ], чтобы убедиться, что концентрация частиц с размерами, не превышающими размеров макрочастиц, не настолько велика, чтобы привести к ошибке несовпадений в измерениях с помощью дискретного счетчика частиц.

Проба воздуха подается в прибор, и разгонятся за счет ее пропускания через сопло в камеру с частичным вакуумом, где расположен измерительный блок. Частицы, находящиеся в воздухе, также разгоняются, следуя за воздухом в измерительный блок. Значение ускорения частиц обратно пропорционально их массе.

Соотношение скоростей воздуха и частицы в точке измерения может быть использовано для определения аэродинамического диаметра частицы. Зная значение разности давлений воздуха снаружи и в измерительной камере, можно точно рассчитать скорость воздуха.

Скорость частиц определяется по времени пролета между двумя лазерными лучами. Процедура получения пробы та же самая, что и для измерений макрочастиц с помощью дискретных счетчиков частиц. Кроме того, для приборов, в основу работы которых положен принцип измерения времени пролета частиц, применяются такие же процедуры для установления диапазонов размеров частиц, как и для дискретных счетчиков частиц.

Проводят отбор проб воздуха в таком объеме, чтобы зарегистрировать как минимум 20 макрочастиц в каждой точке отбора проб, и проводят измерения в соответствии с ИСО или ИСО Вычисляют концентрацию для М-дескриптора для выбранных диапазонов размеров, согласованных заказчиком и исполнителем, и вносят данные в протокол.

Если необходимо получить информацию о стабильности концентрации макрочастиц во времени, то проводят не менее трех измерений в выбранных точках отбора проб с интервалами времени, согласованными заказчиком и исполнителем.

В чистых помещениях с однонаправленным потоком определяют распределение скоростей, а в чистых помещениях с неоднонаправленным потоком - выполняют измерение расхода приточного воздуха. Измерение расхода приточного воздуха выполняется для определения объема воздуха, подаваемого в чистое помещение в единицу времени. Значение расхода приточного воздуха может быть также использовано для определения числа обменов воздуха в единицу времени.

Расход приточного воздуха измеряют либо после финишных фильтров, либо внутри воздуховодов. Оба метода основаны на определении скорости воздуха, проходящего через площадку с известной площадью, при этом расход воздуха равен произведению скорости воздуха и площади.

Выбор метода определяется соглашением между заказчиком и исполнителем. Данное испытание может проводиться в каждом из трех состояний чистого помещения.

Скорость может быть измерена вблизи выходной поверхности финишных фильтров или внутри помещения. Для проведения измерений выбирается плоскость измерений, перпендикулярная к потоку приточного воздуха, которая делится сеткой на секторы одинаковой площади [15]. Число точек измерения должно быть достаточным для определения расхода приточного воздуха в чистом помещении.

Оно может быть рассчитано как квадратный корень из умноженного на 10 значения площади поперечного сечения потока, выраженной в квадратных метрах, но должно быть не менее четырех.

По меньшей мере, одна точка измерений должна приходиться на каждый фильтр. Для предотвращения нарушений однонаправленного потока могут использоваться занавеси. Для каждой из точек измерений записываются усредненные по времени значения скорости. Время измерений в каждой точке измерений должно быть достаточным для обеспечения воспроизводимых результатов. Деление плоскости измерений сеткой на секторы следует осуществлять по соглашению между заказчиком и исполнителем.

Если в чистом помещении установлено производственное оборудование, то важно подтвердить наличие значительных изменений воздушного потока вследствие этого. Поэтому измерения однородности скорости не должны проводиться вблизи таких объектов. Полученные данные могут не отражать характеристик самого чистого помещения.

Данные, использующиеся для определения однородности скорости распределения скорости , должны быть согласованы заказчиком и исполнителем. Полный расход приточного воздуха рассчитывается по формуле. Если измерения в прямоугольном воздуховоде проводятся с использованием трубки Пито и манометров или анемометров термоанемометров или крыльчатых , то плоскость измерений в воздуховоде должна быть разделена на прямоугольные секторы одинаковой площади, а скорость воздушного потока следует измерять в центре каждого сектора.

Число прямоугольных секторов должно быть согласовано между заказчиком и исполнителем и может быть равно, например, 9 или Расход воздуха может быть рассчитан так же, как это описано в В. Измерения в круглых воздуховодах проводят по методике определения расхода воздуха с помощью трубок Пито, приведенной в EН [10].

В некоторых случаях для определения объема приточного воздуха необходимо проводить измерения скорости приточного воздуха через каждый отдельный диффузор [15]. Для измерения расхода приточного воздуха используют раструб с расходомером или определяют расход, умножая скорость воздуха, проходящего через сечение раструба, на эффективную площадь сечения. Раствор раструба должен полностью накрывать фильтр или диффузор, плотно соприкасаясь с плоской поверхностью для избежания утечек воздуха и погрешности измерений.

При использовании сопла с расходомером поток воздуха от каждого финишного фильтра или приточного диффузора должен измеряться непосредственного у выпускного сечения сопла. При отсутствии раструба оценку расхода приточного воздуха можно осуществлять, проведя измерения с помощью анемометра после каждого финишного фильтра. Расход приточного воздуха равен произведению скорости воздушного потока на площадь выходного сечения. Методика расчета расхода приточного воздуха приведена в В. Если плоскость измерений невозможно разделить на прямоугольные секторы одинаковой площади, то следует использовать средние скорости воздуха со статической массой, пропорциональной площади сектора.

Для измерения воздушных потоков используются ультразвуковой анемометр, термоанемометр, крыльчатый анемометр или аналогичное оборудование. Для измерения расхода приточного воздуха могут использоваться диафрагменный расходомер, расходомер Вентури, трубки Пито и усредняющие трубки Пито с манометрами или аналогичное оборудование.

Измерение скорости потока воздуха следует выполнять с помощью оборудования, которое не чувствительно к вариациям скорости воздуха от точки к точке на малых расстояниях. Так, например, термоанемометр можно использовать, если сечение потока разделено на малые секции и используются дополнительные точки измерения. С другой стороны, крыльчатый анемометр может использоваться, если он имеет достаточную чувствительность и размеры, достаточные для усреднения скорости воздуха по всему диапазону вариаций.

Выбранное оборудование должно иметь действующие сертификаты калибровки. Измерение перепада давления может проводиться для каждого из состояний чистого помещения, может выполняться на регулярной основе, как часть программы текущего контроля оборудования согласно ИСО Убедившись в том, что все двери закрыты, следует измерить и записать перепад давления между чистым помещением и окружающей средой. Если система чистых помещений состоит из более чем одного помещения, то должен быть измерен перепад давления между центральным наиболее внутренним помещением и примыкающими к нему помещениями.

Измерения следует проводить до тех пор, пока не будет измерен перепад давления между периферическими чистыми помещениями и окружающими их вспомогательными помещениями и наружной окружающей средой.

В связи с тем, что измеряемые значения очень малы, неправильное выполнение измерений может привести к погрешности измерений. Необходимо принять во внимание следующее: Для проведения испытаний могут применяться электронный микроманометр, наклонный манометр или механический датчик перепада давления. Оборудование должно иметь действующие сертификаты калибровки. Испытание с использованием аэрозоля может привести к неприемлемому уровню загрязнений частицами или молекулярному загрязнению внутри чистого помещения.

Применение некоторых контрольных аэрозолей может при определенных условиях быть опасным для здоровья. Настоящий стандарт не рассматривает вопросы безопасности применения приведенных методов испытаний. Ответственность за установление и соблюдение мер безопасности, определение степени риска и соблюдение требований нормативных документов лежит на пользователе. Соответствие требованиям безопасности должно быть проверено до начала практического использования настоящего стандарта.

В процессе испытаний проверяется отсутствие утечек в соответствии с требованиями к классу чистоты чистого помещения или чистой зоны. Метод испытаний заключается в подаче на вход фильтра контрольного аэрозоля и либо одновременном сканировании после фильтра в зоне самого фильтра и элементов его крепления, либо в одновременном отборе пробы в воздуховоде после фильтра.

В процессе испытаний проверяется целостность всей системы фильтрации, включая фильтровальный материал, раму, элементы крепления и герметизации. Испытание целостности установленной системы фильтрации не следует путать с определением эффективности отдельных фильтров на заводе-изготовителе.

Испытание целостности установленной системы фильтрации выполняется в построенном или оснащенном состояниях чистого помещения при аттестации новых или при повторной аттестации существующих чистых помещений, а также после замены финишных фильтров.

Испытания могут быть проведены с использованием фотометра аэрозолей см. Результаты испытаний, полученные этими методами, не допускают прямого сопоставления. Примечание - При применении фотометра аэрозолей необходимая концентрация частиц в раз превышает концентрацию частиц в случае работы с дискретным счетчиком частиц для того же класса фильтров.

Он может применяться для испытаний: Средний эквивалентный диаметр частиц при этом должен быть в пределах от 0,5 до 0,7 мкм стандартное отклонение - 1,7. Примечание - Материалы, применяемые для генерации аэрозолей, приведены в С. При первом испытании системы фильтров следует обратить внимание на однородность распределения частиц контрольных аэрозолей в приточном воздухе. Для этого до начала испытаний следует документально указать все точки подачи и испытаний контрольных аэрозолей.

Определенная при этом средняя концентрация частиц контрольных аэрозолей должна рассматриваться как концентрация частиц в воздухе перед фильтром. При концентрациях менее этого значения снижается эффективность метода по обнаружению мелких дефектов. При более высоких концентрациях чувствительность метода повышается.

Подробные детали того, как обеспечить перемешивание контрольного аэрозоля, согласовывается заказчиком и исполнителем. Эти размеры должны быть такими, чтобы обеспечивалось уравнивание скорости потока воздуха и скорости отбора пробы. Пробоотборник должен иметь квадратную или прямоугольную форму. Размер стороны пробоотборника , см, в направлении, параллельном направлению сканирования, расчитывают по формуле. Примечание - Скорость воздуха должна удовлетворять условию: Максимальное расстояние от поверхности фильтра или элементов крепления до пробоотборника должно быть около 3 см;.

Альтернативные результаты испытаний могут быть установлены по соглашению между заказчиком и исполнителем. Рекомендации по устранению дефектов приведены в В. Примечание - Для фильтров с разными коэффициентами проскока и для фотометров с разными временами отклика могут устанавливаться разные результаты испытаний для допустимой утечки, см.

При этом превышение обнаруженного числа частиц за время указывает на потенциальное наличие утечки. В этом случае переходят ко второму этапу. Если превышение не обнаружено, то дальнейший анализ не проводится. Методы расчета и приведены в В. Если при неподвижном состоянии счетчика число обнаруженных частиц за время превысит допустимое значение , то в данном месте есть утечка.

Методы расчета величин и приведены в В. Примечание - Рекомендации по выбору аэрозоля приведены в С. При выборе контрольных аэрозолей учитываются следующие условия: В большинстве случаев следует искусственно подавать контрольные аэрозоли на вход фильтров, чтобы достичь необходимой концентрации частиц. Для измерения такой высокой концентрации может потребоваться разбавитель, чтобы не выйти за допустимые пределы концентрации для счетчика и избежать ошибки совпадения при счете частиц.

Работоспособность разбавителя должна проверяться в начале и в конце цикла его использования [16]. Если концентрация частиц на входе фильтров изменяется с течением времени в значительных пределах, то ее следует контролировать в ходе сканирования фильтров, чтобы иметь данные для последующих вычислений. При концентрациях ниже среднего значения чувствительность к обнаружению малых утечек будет ниже, а при высоких концентрациях - выше.

Подробности контроля однородности распределения контрольных аэрозолей в воздухе до фильтров, включая частоту его проведения и число точек отбора проб воздуха, подаваемого на фильтры [18], следует оговорить в соглашении между заказчиком и исполнителем. Если число частиц не увеличивается, то принимается, что утечки нет.

Если число частиц более в течение времени , то принимается, что утечка есть. Схема последовательности предварительных расчетов приведена на рисунке В. Пробоотборник находится напротив места утечки. Максимально допустимый коэффициент проскока. Примечание - включает проскок сквозь фильтровальную среду и утечки. В некоторых местах локальное значение коэффициента проскока может быть более интегрального значения.

Рекомендуется, чтобы величина была не менее 2, при этом выполнение условия В. Для обеспечения сравнения результатов испытания для метода с использованием фотометров см.

Некоторые значения и приведены в таблице В. При значениях, не превышающих , возможно более быстрое сканирование или использование меньших концентраций аэрозоля на входе фильтра: Примечание - Если превышает 19,7, то можно рассчитать по формуле: При использовании серийных счетчиков частиц следует выбирать кратным от одного до нескольких выбранных интервалов, установленных на счетчике.

При следует использовать формулу В. Время должно быть не менее времени пересечения места утечки пробоотборником см. При ручном сканировании утечка может быть обнаружена визуально на дисплее счетчика частиц или за счет звукового сигнала счетчика. Для того чтобы отличить приемлемое число частиц от неприемлемого концентрация аэрозоля на входе фильтра должна быть такой, чтобы число частиц после фильтра не превышало Интервал времени для отбора проб должен быть достаточным, чтобы исключить влияние эффекта сброса числа частиц между интервалами.

Если число обнаруженных частиц по-прежнему будет превышать , то фильтр имеет утечку. Счет частиц от утечек не зависит от скорости отбора пробы в отличие от частиц, проникающих через обычную фильтровальную среду.

При нестандартных скоростях отбора пробы следует использовать уравнения: Если число частиц не увеличилось, то в сканируемой зоне утечки нет. Если число обнаруженных частиц превышает в течение времени , то принимается, что утечка есть. Он может также использоваться для контроля целостности многосекционного комплекта фильтров без проверки отдельных секций. Его можно использовать и для контроля финишных фильтров, установленных в чистых помещениях с неоднонаправленным потоком воздуха.

Этот метод имеет значительно меньшую чувствительность по обнаружению утечек, чем методы, приведенные в В. Метод заключается в следующем: Перед проведением контроля следует проверить скорость потока воздуха см. Далее следует проверить концентрацию аэрозоля и ее однородность до фильтра фотометром см. Концентрация частиц в воздухе после фильтра определятся не менее чем в одной точке для каждого фильтра, причем однородное смешивание потока должно произойти до этой точки.

Если это условие не выполняется, то следует выбрать другой метод контроля. Отбор проб выполняется после фильтров в несколько равномерно распределенных точках в плоскости, расположенной на расстоянии от 30 до см от поверхности фильтра, а в воздуховодах на расстоянии 3 см от стенки воздуховода.

Для подтверждения стабильности работы генератора аэрозолей следует повторно, через определенные интервалы времени определить концентрации частиц до фильтров см. По данным о концентрации частиц вычисляются интегральные значения коэффициента проскока частиц заданного размера для каждой точки, расположенной после фильтра.

При использовании счетчика частиц эти фактические значения коэффициента проскока не должны превышать заданных значений коэффициента проскока для фильтра в точке MPPS более чем в пять раз. Другие результаты испытаний при контроле эффективности фильтров могут быть установлены соглашением между заказчиком и исполнителем. Ремонт фильтров или устранение утечек выполняются в соответствии с В. Примечание - В случаях, когда требуется контроль целостности фильтров, установленных в воздуховодах, методом сканирования, следует использовать методы, приведенные в В.

При выборе способа ремонта следует учесть все указания заказчика и изготовителя фильтров. При выборе материала для ремонта следует учесть возможное выделение загрязнений, в том числе молекулярных, и последующее осаждение их на продукт и оборудование.

Дефекты, обнаруженные в фильтрах, местах их герметизации или элементах крепления должны быть устранены. Порядок ремонта фильтров или элементов крепления может быть согласован заказчиком и поставщиком. После проведения ремонта и достаточной выдержки времени следует выполнить повторное сканирование. Примечание - В настоящем стандарте не рассматривается цифровое моделирование потоков воздуха.

В методах а и b используют для визуализации потоков воздуха нити или видимые частицы. Нити или частицы перемещаются по направлению потоков воздуха, и полученная картина снимается фотоаппаратом или кинокамерой. Нити и частицы не должны быть причиной загрязнений. Для получения частиц могут использоваться генератор аэрозолей, источник света высокой интенсивности.

Метод с используется для демонстрации распределения скоростей потока воздуха в чистом помещении и основан на визуализации потока воздуха частицами при помощи моделирования с использованием компьютера. При проведении испытаний следует принять меры предосторожности, чтобы исключить влияние персонала на потоки воздуха.

Примечание - Следует учесть, что на потоки воздуха могут влиять такие параметры, как перепад давления, скорость движения воздуха и температура. Это дает видимую картину направления потока воздуха и их изменения из-за турбулентности. Целесообразно использовать эффективную подсветку и видеозапись или фотографию полученной картины потоков воздуха.

Для определения угла отклонения потока следует выполнить измерения в двух точках например, на расстоянии от 0,5 до 2 м. Применение источников света с высокой интенсивностью светового потока позволяет определить направление и однородность потока воздуха. Трассирующие частицы могут быть получены из распыляемой деионизованной воды, спирта и пр. Источник частиц должен быть выбран так, чтобы исключить загрязнение воздуха и поверхностей чистого помещения. При выборе метода распыления следует учесть требования к размеру частиц капель.

Он должен быть достаточным для визуализации потока воздуха выбранным методом, но не настолько большим, чтобы гравитация или иной эффект могли повлиять на их движение и искажение получаемой картины. При этом используются цифровые камеры, передающие изображение на компьютеры с необходимыми интерфейсами и программным обеспечением. Для достижения большей пространственной разрешающей способности могут использоваться лазерные источники света и пр.

Предусматриваются два метода контроля: Второй вид контроля выполняется в чистых помещениях с повышенными требованиями к точности поддержания температурного режима. Измерение температуры следует выполнять, как минимум, в одной точке в каждой температурной зоне. Измерения выполняются на высоте рабочего места. Значение температуры записываются после стабилизации показаний датчика. Порядок проведения измерений определяется с учетом назначения чистого помещения. Время измерений должно быть не менее 5 минут с записью значений через 1 мин.

Контроль выполняется после работы системы вентиляции и кондиционирования, по крайней мере, в течение 1 ч, чтобы обеспечить стабилизацию ее работы. Рабочую зону следует разделить на секторы равной площади. Зоны проведения контроля должны быть согласованы между заказчиком и исполнителем.

Измерения должны выполняться, как минимум, в двух точках. Датчик температуры должен располагаться на высоте рабочего места на расстоянии не менее мм от потолка, стен и пола чистого помещения. При определении места расположения датчика следует учесть близость источников тепла. Значения температуры записываются после стабилизации показаний датчика.

Время измерений должно быть не менее 5 мин, с записью значений через 1 мин. Для измерений могут использоваться: Датчик должен иметь действующий сертификат калибровки. Измерение влажности следует выполнять, как минимум, в одной точке в каждой зоне с заданными требованиями к влажности. Значения влажности записываются после стабилизации показаний датчика. Измерения следует проводить, как минимум, в течение 5 мин.

Периодичность измерений и время их выполнения согласовываются заказчиком и исполнителем. Точки измерения влажности и периодичность измерений должна быть согласована между заказчиком и исполнителем. Измерения влажности следует выполнять одновременно с измерением температуры. Точность датчика влажности должна соответствовать требованиям ИСО Способность сохранять и рассеивать статическое электричество оценивается по поверхностному сопротивлению и сопротивлению утечки поверхностей.

Проверка генерации ионов выполняется с целью оценки работы генераторов ионов путем измерения времени разряда первоначально заряженных пластин и путем определения напряжения смещения изолированных контрольных пластин. Результат каждого измерения показывает эффективность устранения или нейтрализации статического заряда и дисбаланса между положительными и отрицательными генерированными ионами.

Показания статического вольтметра или измерителя поля устанавливаются на нуль при направлении пробника на заземленную металлическую пластину. Пробник следует держать таким образом, чтобы измерительная диафрагма была параллельна пластине и находилась на расстоянии, установленном в инструкции изготовителя. Металлическая пластина, используемая для установки нуля, должна иметь площадь, достаточную для требуемого размера диафрагмы пробника и расстояния между пробником и поверхностью.

Для измерения статического электричества следует расположить пробник возле поверхности объекта, заряд на которой измеряется. Пробник следует располагать так же, как и при установке нуля.

Для получения достоверных данных поверхность объекта должна быть достаточно большой по сравнению с размером апертуры пробника и расстоянием от пробника до поверхности. Показания электростатического вольтметра записываются. Точка измерений или объект измерения согласовываются заказчиком и исполнителем. Рассеивание измеряется при помощи высокоомного омметра. Поверхностное сопротивление или сопротивление утечки измеряется с помощью электродов, имеющих необходимый вес и размеры.

Эти электроды следует располагать на должном расстоянии от поверхности во время выполнения измерений. Специальные требования к выполнению измерений согласовываются заказчиком и исполнителем. Испытание состоит в измерении времени разряда и напряжения смещения. Измерение времени разряда выполняется для оценки эффективности устранения статического заряда при использовании генератора ионов. Измерение напряжения смещения выполняется для оценки дисбаланса положительных и отрицательных ионов в потоке воздуха, ионизированном генераторами ионов.

Этот дисбаланс может привести к нежелательному остаточному напряжению. Для проведения измерений нужны токопроводящие контрольные пластины, электростатический вольтметр, таймер и источник питания. Иногда устройство, включающее в себя эти части, называют регистратором заряда пластины. Измерения выполняются при помощи контрольных пластин изолированные проводящие пластины с известной емкостью например, 20 пФ. В начале испытаний контрольные пластины заряжаются до известного положительного или отрицательного напряжения от источника питания.

Измеряются изменения статического заряда пластин при их нахождении в потоке воздуха, ионизованного генераторами ионов обеих полярностей. Изменение напряжения на пластинах с течением времени определяется при помощи электростатического вольтметра и таймера.

Время разряда определяется как для положительно, так и для отрицательно заряженных пластин. Расположение контрольных точек и критерии приемлемости согласовываются заказчиком и исполнителем.

Заряд изолированной пластины измеряется электростатическим вольтметром. Перед проведением измерений пластина должна быть заземлена, чтобы снять остаточный заряд. Следует убедиться, что напряжение на пластине равно нулю. Измерение напряжения смещения проводится при помещении пластины в ионизованный поток воздуха, после того как показания вольтметра станут стабильными. Допустимое значение напряжения смещения, вызванное генераторами ионов, зависит от чувствительности к статическому электричеству предметов, находящихся в рабочей зоне.

Допустимое значение напряжения смещения следует установить в соглашении между заказчиком и исполнителем. При контроле генерации ионов используются: Осевшие частицы собираются на пластины с характеристиками, аналогичными тем, которые имеют критические поверхности.

Определение числа и размеров этих частиц выполняется при помощи оптического или электронного микроскопов или сканирующих поверхности проборов. Для получения данных об интенсивности осаждения может использоваться фотометр для осажденных частиц седиментометр. В протоколе указывают данные о массе или числе осевших частиц на единицу поверхности в единицу времени. Электрический потенциал контрольной пластины и контролируемой поверхности должен быть одинаковым.

Работа с контрольной пластиной включает в себя следующие этапы: При необходимости время экспонирования может изменяться так, чтобы получить число частиц, осажденных на поверхность пластин, достаточное для получения статистически представительных данных в соответствии с требованиями заказчика;.

При работе с оптическим микроскопом для оценки размера частиц может использоваться калиброванная линейная или круговая координатная сетка. При работе с электронным микроскопом может использоваться калиброванная сетка решетка с известным линейным расстоянием, чтобы установить соотношение между воображаемым и реальным размерами. При использовании сканирующего прибора следует использовать инструкцию изготовителя в отношении калибровки размеров. Данные о числе частиц, полученные при анализе какой-либо части пластины, могут экстраполироваться на всю площадь пластины статистический счет.

Экстраполирование может выполняться в соответствии с [4]. Сортируют частицы по размерам диаметрам на всех пластинах и строят их распределение по размерам;. Делят прирост концентрации частиц на время экспонирования. Результатом является интенсивность осаждения частиц, выраженная числом осевших частиц на 1 см поверхности в единицу времени;. Контрольные пластины должны быть достаточно гладкими, чтобы обеспечить четкое различение частиц, осевших на пластины.

Используемые приборы должны иметь достаточную разрешающую способность, чтобы обеспечить счет частиц наименьших размеров согласно установленным требованиям. При выборе приборов следует обратить внимание на их способность обнаруживать частицы установленных размеров.

Приборы должны иметь действующий сертификат калибровки. Восстановление чистоты воздуха после повышения концентрации частиц является одним из наиболее важных свойств чистого помещения. Испытание выполняется только для чистых помещений с неоднонаправленным потоком воздуха, поскольку способность восстанавливать чистоту зависит от кратности воздухообмена, расположения мест притока и вытяжки воздуха, выделений тепла и характера распределения воздуха.

Испытание выполняется в построенном или оснащенном состояниях чистого помещения. При использовании искусственно генерируемых аэрозолей следует избегать осаждения частиц на поверхностях в чистом помещении. Оба этих показателя могут быть определены по кривой снижения концентрации частиц. На оси ординат откладываются значения концентрации частиц в логарифмическом масштабе, а время - на оси абсцисс в линейном масштабе. Концентрация частиц не должна быть слишком большой, чтобы избежать неопределенности результатов.

Примечание - Рекомендуется проводить экспериментальную оценку соотношения Следует принять меры предосторожности от ошибки совпадения и загрязнения оптической системы счетчика частиц.

Перед началом работы следует определить концентрацию, необходимую для проведения испытания в соотношении Если это значение превышает возможности счетчика частиц по критерию ошибки совпадения, то следует применить разбавитель для уменьшения концентрации частиц или вместо испытания на время восстановления в соотношении Точки отбора проб и число отбираемых проб определяются соглашением между заказчиком и исполнителем.

Время задержки счетчика от начала каждого счета до получения результатов должно быть установлено на величину не более 10 с. Рекомендуется использовать канал, соответствующий максимальной концентрации частиц. Отмечают время, при котором концентрация частиц будет в раз превышать заданное значение для данного класса чистоты. Скорость восстановления между двумя точками измерений рассчитывают по формуле.